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青岛福润德品牌扩散炉炉体

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  • 价格范围:电议或面议
  • 供应数量:1
  • 所在区域:山东
  • 产品类别: 锅炉 >工业锅炉
  • 发布时间:2015-07-01 03:01:53
产品简介
可完全代替进口炉体,优质加热炉丝,进口保温材料,采用国外先进加工工艺,炉体可长期使用在高温下,处理12英寸以下硅片,工作温度2000℃-1286℃。 设备特点: 可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步 工艺曲线的自动运行控制功能 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能 自动运行中可暂停/继续运行功能 可存储多组PID参数供系统运行调用功能 PID参数自整定功能 工艺气体的程序控制功能 关键部件全部具有高可靠性 具有良好的人机界面 系统故障自诊功能 停电后断点继续运行功能等等 具有历史记录功能 具有多点温度补偿 技术指标: 可配置工艺管外径2~8英寸 可配置工艺管数量:1~4管/台 工作温度范围:400~1300℃ 恒温区长度及精度:300~1250mm 800~1300℃±0.5℃ 单点温度稳定性:800~1300℃±0.5℃/24h 最大可控升温速率:15℃/min 最大降温速率:5℃/min

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