采购人(盖章)

太原理工大学

采购项目所属项目名称

分析测试中心科研仪器设备

采购项目名称及金额

分析测试中心科研仪器设备，985万元

项目组织单位

太原理工大学

项目使用单位

太原理工大学分析测试中心

购置理由

2.多功能微区取向成像分析系统：该设备主要用于高分辨率微区微观结构、取向成像和形貌分析的大型精密分析系统，具有景深大、分辨率高、成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点，主要包括场发射光源和钨灯丝光源两台扫描电子显微镜，并搭载能谱和电子背散射取向分析系统。

钨灯丝光源系统主要用于微米级别和亚微米级别的的金属断口分析、表面锈蚀分析、裂纹结果分析、取向成像分析等，能够观察到极限结构一般为100nm以上。通过能谱仪附件，可在空间分辨率1微米左右进行成分定性和定量分析，通过电子背散射衍射附件，可分析微观织构取向、大尺寸的晶粒信息，晶粒极限尺寸为500nm左右。

场发射光源系统可以观察到10nm左右的样品表面微观结构，例如金属样品中的非金属析出物和夹杂物等，通过能谱仪附件，可在空间分辨率80nm左右进行成分定性和定量分析，通过电子背散射衍射附件，可分析分析织构取向复杂、晶粒尺寸特别小的样品，晶粒极限尺寸为50nm左右。

   该系统除微观结构成像、微观区域元素和晶体学数据分析外，多功能微区取向成像分析系统亦可扩展力学、温度、电学等原位实验条件，这些附件可可模拟材料实际应用过程中的力和热学环境，观察和分析材料在实际使用过程中微观结构和微观织构发生的动态变化过程，以获得更贴近材料实际应用环境的数据，此外还配有低真空环境模式，可检测的样品种类不局限于导电干燥样品，开放性更强。

论证专家基本情况

姓名

技术职称

现从事专业

所在单位

陈少平

教授

材料

太原理工大学材料科学与工程学院

刘生玉

教授

矿业

太原理工大学矿业工程学院

陈智辉

教授

物电

太原理工大学物理与光电工程学院

左志军

教授

煤化工

太原理工大学化学化工学院

梁建国

教授

机械

太原理工大学机械与运载工程学院

专家组论证意见

1.X射线光电子能谱仪的购置符合国家法律法规的有关规定。

拟购置的X射线光电子能谱仪可用于材料表面的元素定性分析、半定量分析、化学状态分析、等表面元素成份、元素分布、元素价态、化学态、微区分析以及深度剖析等化学特性方面的表征测试。

项目履约时间和方式，验收方法和标准及其他合同实质性条款均符合要求。

所购仪器的配套条件均已落实，可在本校及本地区实现资源共享，承担相关产品和样品的分析。

拟购置的X射线光电子能谱仪对我校材料、化工、机械、矿业、地质、物电、生医、环工、信息等相关学科开展高水平科学研究、培养高水平人才起到支撑作用，并可以为校内外用户提供优质服务。

综上所述，拟购置的X射线光电子能谱仪是我校开展高水平教学科研、培养高水平人才、促进“双一流”学科建设的基础设备，建议采购。

2.多功能微区取向成像分析系统：

1）拟购买的多功能微区取向成像分析系统主要用于高分辨率微区微观结构、取向成像和形貌分析，包括钨灯丝光源和场发射光源两台扫描电子显微分析系统，搭载能谱分析仪和电子背散射取向成像分析装置，是微区结构与取向成像结构分析最为重要的仪器设备之一，能够为材料、化学、物理、机械及力学等相关学科的研究与教学提供强有力的支持。2）目前，国内暂无同类仪器设备的生产制造厂商，进口的多功能微区取向成像分析系统的生产厂家主要有日本电子、泰思肯和日立等三家公司，经过详细的调研，论证报告中的配置与技术参数基本合理，三家公司的产品均符合购置要求。3）该仪器设备的采购符合国家法律法规的有关规定，安装场地、水电供应、防磁防震等配套条件已经落实，国内尚未出台国家/地方相关标准规范，采购完成后可以实现校内外测试资源共享。

综上所述，建议采购。

采购需求

一、X射线光电子能谱仪：

1．货物名称：X射线光电子能谱仪              数量（单位）：1套

2．采购标的需实现的功能或者目标，以及为落实政府采购政策需满足的要求

对各类导电，非导电材料在多种形态下（包括粉末、薄膜、高分子等）的表面几个原子层（1nm～10nm厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性的分析与表征，兼顾材料经反应环境影响的准原位分析。

3．采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求（技术指标要求）：

（一）功能要求

1.XPS主机包括单色化XPS、微区XPS、平行成像XPS、ARXPS角分辨分析、离子散射谱ISS、同轴REELS反射电子能量损失谱、UPS多气体紫外光电子能谱分析、离子枪刻蚀套件、团簇刻蚀套件、准原位反应室、X射线荧光分析功能、自动化五轴样品台、超高真空测量装置功能并配备实现这些功能的其他所需部件，整套系统还需配备用于与其他设备拓展连用的UFO真空传样装置。

2.准原位材料表征反应池达到≥1200K温度时可以同时实现≥7bar的压力，整套系统能够在线混气和控温，在进行反应的表征时，应能进行程序控温和真气氛控制，且不影响常规的XPS测试。

（二）主要技术要求

1.真空系统

1.1 分析室：真空腔为纯μ金属制造，真空度≤5.0×10-10mbar；

1.2 分析室真空泵：独立的机械泵，分子涡轮泵及钛升华泵组合；

1.3 样品处理室及快速进样室：真空度应≤5.0×10-9 mbar；

1.4样品处理室及快速进样室真空泵：配备独立的涡轮分子泵和机械泵，不可与分析腔共用，防止交叉污染；

1.5 烘烤系统：烘烤≤12小时并完成除气。

2.多功能样品停放台

2.1 样品台

轴向：5轴样品台，即X、Y、Z移动，倾斜及旋转；移动：X方向不小于50mm，Y方向不小于20mm，Z方向不小于12mm；以水平方向为轴至少在-90°～+90°范围内可倾斜；

2.2移动

通过样品台驱动部件，可以对样品位置进行远程自动控制，对位置控制精度达到≤1um，角度控制精度≤0.1º，通过样品实时图像上，可通过鼠标点击实现样品台的移动；

2.3分析室样品台带有加热冷却功能，温度范围170K-1000K。

3.单色化X射线源

3.1 射线源类型：单色化Al阳极X射线源；

3.2分析尺寸至少在20μm-800μm之间连续可调；

3.3 单色化光源的阳极靶可移动，在阳极靶更换前应可提供≥18个工作点使用；

3.4 能量分辨率：对Ag3d5/2峰，半高宽≤0.43eV；

*3.5大束斑能量分辨率和灵敏度（工作功率≤300W时）：对Ag3d5/2峰能量分辨≤1.0eV时，计数率强度≥4Mcps；

3.6大束斑能量分辨率和灵敏度（工作功率≤300W时）：对Ag3d5/2峰能量分辨≤0.6eV时，计数率强度≥2Mcps；

3.7能量分辨率和灵敏度（工作功率≤300W时）：对Ag3d5/2峰能量分辨优于0.45eV时，计数率强度优于150 kcps；

3.8成像XPS：快速平行成像，对Ag3d5/2，线扫描的最佳空间分辨率≤1μm。

4.能量分析器

4.1 采谱能量分析器：外罩为纯μ金属制造；180°半球能量分析器；

4.2 平均半径：≥150mm；

4.3能量扫描范围应≥0～4500eV，确保多功能分析时无需切换分析器；

4.4通过能范围应≥(5eV～380eV)，并可连续调节，调节步长≤1eV，并且在每个通能下均可工作采谱，以获得XPS窄扫谱；

4.5能量分析器极性：双极性。

5.探测器

双探测器独立式设计，各自针对XPS采谱和XPS成像优化。

6.电荷中和系统

*6.1 结构及操作方式：磁透镜+同轴电子枪+离轴低能离子/电子枪的双枪双束中和方式，适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和；

6.2 能量分辨率和灵敏度：对PET绝缘样品，在O-C=O结构中C1s峰能量分辨(FWHM)≤0.68 eV时，C-C结构中C 1s峰的灵敏度（正常工作条件下的真实测量值）≥25,000cps。

7.离子散射谱ISS

7.1在1 keV He离子作用于清洁金表面，能量分辨≤15eV时，灵敏度≥20,000 cps/nA。

8.同轴反射电子能量损失谱装置（REELS）

*8.1配有同轴反射电子能量损失谱（REELS），满足对氢元素的定性定量分析需求，对于干净的银样品，等能量分辨率为0.5eV时，灵敏度≥1000kcps。

9.UPS紫外光电子能谱

*9.1光源：多气体紫外光源：兼容多种惰性气体，包括氦，氩，氙等，验收时需至少演示两种气体；

9.2 能量分辨率：对Ag费米边，能量分辨率应不差于90meV；

9.3灵敏度：能量分辨率≤100meV时，灵敏度（Ag4d）≥1,000,000cps；

9.4 He II工作时，He II/He I 强度比应高于1/2；

9.5系统配有满足绝缘样品UPS分析时荷电中和需要的离子束中和源；

*9.6系统可以自动控制在分析时及深度分析过程中同时实现UPS和XPS测试。

10．UFO真空连接腔

*10.1带有8个真空连接口；采用不锈钢316加工而成，全部采用内焊工艺，腔体直径≥700mm，包含≥8个100CF接口；带有3个150CF的视窗，可以从不同方向直观的看到机械臂在超高真空腔体里的运动；

*10.2传样杆伸出UFO/RDC任一法兰盘口均距离≥750mm，确保多设备真空互联时可以拉开足够的操作空间，伸出法兰距离不小于腔体直径；

10.3传样杆前端带耦合样品抓取头设计，与目前主流设备兼容，可以直接取放样品托，可以直接扩展分子束外延（MBE），扫描隧道显微镜（STM），角分辨光电子能谱（ARPES）等设备；

*10.4耦合可旋转机械臂设计，机械臂可绕竖直轴360°旋转，用于补偿不同系统样品托不同方向带来的传样问题，无需额外的机械手辅助；UFO机械臂上样品向本项目中任一相连真空舱样品台传递应直接完成传递和转向，不需使用推送杆或类似的辅助传递手段；

10.5机械臂可绕传送方向360°旋转，即样品可以在传送臂上进行朝上和朝下的方向选择变换；

10.6采用离子泵+NEG复合泵设计，极限真空≤5×10-10mbar（搭配离子泵测试得到），离子泵接受进口，总抽速≥600L/s；  

10.7具备马达驱动（步进电机带闭环光栅尺）和升降模块选项（不小于±10mm），即可以通过简单的升级安装，使样品传送可自动遥控和在传送杆伸出时可升降，搭配控制器和PC端控制软件，搭配控制手柄，控制软件需兼容Andriod操作系统；

10.8 搭配与XPS 互联的闸板阀，其他口采用盲板封闭；

10.9 采用帐篷式烘烤装置，带真空互锁和保护。

11.离子枪刻蚀套件

11.1离子源：Ar+源；

11.2刻蚀模式：单一枪体，包含单离子刻蚀和团簇刻蚀两种模式；

11.3单离子模式：刻蚀能量500 eV～4keV连续可调；团簇模式：刻蚀能量2 keV～8 keV，团簇中离子数目：75～2000个，每个离子能量最低可达1eV。

12.原位高温高压反应池

*12.1 独立的外挂于样品制备室上的高压反应池，温度及压力：≥1200K温度的同时可以实现≥7bar的压力；

12.2具有独立的真空系统；

12.3可使用气体：H2，O2，H2O，CO2，CH4等其他气体，配备至少四路反应气路和一路吹扫气路。

13.X射线荧光附件

13.1系统组成

光管、探测器、自动进样器，数据分析系统，附助设备和备品备件等；

13.2 X射线管

13.2.1形式：金属陶瓷侧窗管, 长寿命灯丝；

13.2.2 阳极材料：银靶；

13.3 样品室

13.3.1 10位可取式自动进样器, 包括10个样品杯及样品卡环；

13.3.2 充氦气氛系统,用于提高Na,Mg等轻元素分析强度；

13.3.3带样品自旋系统，消除样品不均匀带来的基体效应；

13.3.4 定时自动监控,含监控样品；

13.4控制软件

配置定性定量软件

13.5配置无标定量软件

14.谱仪控制和数据处理

14.1 谱仪控制：谱仪参数设置，系统软件应实现可视化操作；分析部件均可通过系统软件控制；系统软件具备可视化操作界面，实现对真空泵、阀门、真空规、离子枪、中和枪以及加热冷却等的控制；所有进气阀门均可通过软件控制实现自动化开启和关闭；系统软件内置真空安全互锁控制模块，可有效禁止真空设备的误操作；多功能样品台，样品台移动可通过鼠标操作实时的光学像而实现，并具有可视化操作界面；

14.2 数据处理：随系统计算机一台，预装数据采集和处理软件包数据处理方法：定性分析、定量分析、曲线拟合等需具备SMART本底扣除方法；

*14.3 数据库：包括完整的XPS、REELS、AES和ISS数据库；ARXPS角分辨处理软件、超薄多层膜拟合模块；全套XPS标准数据图库以及化合物结构鉴定数据库且数据库中的数据格式内置于操作及分析软件中，用户可随时打开和测试数据进行对比；实验数据（原始数据及分析结果）可存为通用格式，并能导入Microsoft Office 软件，软件的数据处理部分，可在其他PC计算机上安装使用。软件介质：以安装光盘形式提供。

15. 随系统配备的真空烘烤系统

16. 与以上所有系统相关联的电子装置及控制柜

17. 循环冷却水系统

循环冷却系统，满足阳极靶、涡轮分子泵和石英单色器冷却的需要。

18.不间断电源系统

配备隔离变压器的稳压不间断电源一套。

19.配套手套箱1

19.1水氧指标：小于1 ppm；

19.2泄漏率：小于0.001vol%/h；

19.3箱体：

内部尺寸：长度：≥1220mm，深度：≥750mm，高度：≥900mm，材料：304不锈钢；

19.4大过渡舱

尺寸：直径 ≥360mm，长度 ≥600mm，材料：304不锈钢；

19.5小过渡舱

尺寸直径≥ 150mm，长度≥300mm，进入手套箱部分长度≥100 mm，材料：304 不锈钢；

19.6气体净化循环系统

包含净化柱、循环系统、再生、阀门和管路；

19.7控制系统

功能：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应功能，自动控制、循环控制、密码保护，单元控制采用进口PLC触摸屏；

19.8水分析仪

测量范围：0～500ppm；

19.9氧分析仪

测量范围： 0～1000ppm；

19.10有机溶剂吸附器

放置箱内，填充活性炭，可快速更换材料，并且不破坏高纯气氛。

20.配套手套箱2

20.1水氧指标：小于1 ppm；

20.2泄漏率：小于0.001vol%/h；

20.3箱体

内部尺寸：

长度：≥2440mm，深度：≥750mm，高度：≥900mm，材料：304不锈钢；

20.4大过渡舱

尺寸：直径 ≥360mm，长度 ≥600mm，材料：304不锈钢；

20.5小过渡舱

尺寸直径≥ 150mm，长度≥300mm，进入手套箱部分长度≥100 mm，材料：304 不锈钢；

20.6气体净化循环系统

包含净化柱、循环系统、再生、阀门和管路；

20.7控制系统

功能：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应功能；自动控制、循环控制、密码保护；单元控制采用进口PLC触摸屏；

20.8水分析仪

测量范围：0～500ppm；

20.9氧分析仪

测量范围： 0～1000ppm；

20.10有机溶剂吸附器

放置箱内，填充活性炭，可快速更换材料，并且不破坏高纯气氛。

21.不间断电源

10KVA,延时2小时。

22.循环水冷机

用于X射线光源,磁透镜等部件的冷却。

23.备品备件

内中和源灯丝组件一套、高能离子源灯丝组件一套、低能离子中和源灯丝组件一套、X射线单色器阳极一套、水循环的滤芯两套、垫圈备件包一包。

二、多功能微区取向成像分析系统技术需求：

多功能微区取向成像分析系统主要包括场发射光源和钨灯丝光源两台扫描电子显微镜，并搭载能谱和电子背散射取向分析系统。

1.场发射多功能扫描电子显微镜

1.1 电子光学系统

1.1.1 电子枪：肖特基（Schottky）热场发射型，至少保证三年寿命

1.1.2高真空模式分辨率：≤1.0nm(20kV),3nm (1kV) 

1.1.3分析模式下分辨率：≤3.0nm(15KV,束流:1nA)

*1.1.4 低真空模式分辨率：≤1.8nm(15kV)

1.1.5放大倍率：光镜模式:1-20X；电镜模式:5X-600,000X[以128mm×96mm方式计算]或14X-1,679,449X[以358mm×269mm作为显示尺寸计算],具有光镜电镜无缝转换功能(ZeroMag)

*1.1.6 分析束流：最大300nA，完美匹配EBSD、CL、EDS等各种附件。

*1.1.7 束流控制：光阑角度控制透镜控制束斑尺寸, 非常方便地，连续地调节束流。无需手动切换光阑

1.2真空系统

1.2.1采用三级真空系统：机械泵×2、分子泵×1、离子泵×2

*1.2.2 具有低真空模式：压力值10-150Pa范围内可调，经由透镜差动抽气

1.2.3 高低真空切换：软件切换，60秒内完成,马达驱动压差光阑设计，全压力值下均无需手动插入光阑和探测器

*1.2.4 电子枪可保证断电状态下维持高真空状态200小时

1.3样品室和探测器及成像系统

1.3.1 样品室内零磁场，可观察块体磁性样品

*1.3.2样品仓容积：≥935cm3，可容纳直径300mm,高度90mm样品

1.3.2样品交换方式：大开门式，无需使用氮气泄真空

1.3.3快速编码驱动样品台：样品移动速度不低于3mm/s

1.3.4 最大样品重量：2kg

*1.3.5 样品台行程：X轴125mm,Y轴:100mm,Z轴：80mm;T轴:-10~+90°R轴:360°

1.3.6 具有11个附件拓展接口，其中能谱仪接口不少于2个

1.3.7 样品台优中心设计，样品倾斜、平移，焦点不变，衬度不变。EBSD分析时无需倾斜寻找样品；

1.3.8具有二次电子探测器×1

1.3.9具有多分割背散射电子探测器:可形成高低真空的成分像、形貌像和阴影像×1

*1.3.10具有一体化可变焦光学CMOS导航相机，像素：不低于500万像素，图像分辨率：2560 × 1920，可在光学大视野范围下寻找样品并进行视野切换。

1.3.11具有样品室观察相机：可观察样品仓内部情况

1.4 图像处理系统

1.4.1 图像显示:1280×1024

1.4.2 图像存储:5120×3840，使用蒙太奇拼接功能时，可拓展至无限。

1.4.3 可输出BMP, JPEG, TIFF格式以及自动记录数字电影 (.avi)

*1.4.4 操作: 23英寸触控，还具有键盘鼠标、快捷功能操作面板、轨迹球等操作方式

*1.4.6具有自动图像拼接功能，在一体化光镜下可完成电镜模式的超大视野的自动拼接

1.4.7 具有自动对中功能，可以一键同时自动进行聚焦，消像散，电子束对中、明暗对比度调整四步操作

1.4.8应具备标注功能（图形类(圈、矩形、箭头、测量线)、文字等）

1.4.9应具有测量功能，能测量试件的长宽高、直径、周长、面积等，可实时测量。

1.4.10 应具有报告输出软件，光镜低倍像，电镜高倍像结果可同时输出。

1.4.11 应提供内嵌式的实时导航功能，可用图像告知操作员用户下一步的操作步骤，以及根据不同样品类型，自动推荐操作条件。

1.4.12具有Charge Free跨行积分扫描模式，可将样品受到电子束的损伤和电荷积累降到最低

1.5自动离子溅射仪 1套

1.5.1 工作气压：20Pa及以下，真空度高，喷金颗粒细腻。

1.5.2溅射束流：10，20，30，40mA

1.5.3靶材：Pt/Au/合金等可选，标配1块白金靶

1.5.4 真空罩尺寸：120mm(直径)×100mm(高)

1.5.5 计时：数字显示（1～300s），精确到秒，可以精确控制喷金时间。

1.5.6包含气体控制、氩气清洗功能、高压安全系统，真空计精确。

1.6微区成分分析与取向分析系统

技术指标及配置

1.6.1 探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，30mm2有效面积，50mm2晶体面积，高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能。

1.6.2 能量分辨率：Mn Ka保证优于129eV（@计数率100,000cps）；以上探测器能量分辨率保证符合ISO 15632:2012标准。

1.6.3元素分析范围: B5～Cf98

具备零峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位。

能谱应用软件采用最新的AZtecLiveOne平台，多线程设计。

1.6.4具备元素谱图Live功能，移动样品时，元素谱图实时刷新显示，无需在电镜和能谱软件间切换；在谱图采集时实时显示MinQuant的定量分析结果。

内置Tru-Q引擎，确保定量分析的准确性；FLS（高帽滤波法）自动扣除背底，确定谱峰的位置及峰型；Qcal基于探头类型修正谱峰峰型，PPC准确预测高计数率下的和峰并进行修正。

1.6.5定性分析：AutoID可自动标识谱峰，可进行谱重构。

1.6.6定量分析：采用XPP定量修正技术，具有完备的虚拟标样库。

1.6.7电子图像最高分辨率达2048*2048像素；元素面分布图分辨率最高达1024*1024像素；可从面分布图上进行谱图重建。

4.6.8线扫描分析每条线可包含高达8192点，可从线扫描结果重建单点谱图。

采用X1脉冲与图像处理器：可高效进行脉冲处理和图像采集，在1,000,000计数率下进行元素面分布分析，在100,000计数率下进行定量分析。

1.6.9 CMOS图像传感器技术，结合高效率、高分辨率光学系统。

1.6.10百万像素分辨率1244*1024，在此分辨率条件下，采集速度≥80点每秒；最快在线采集速度400点/秒，最高速度时花样分辨率达到312x256像素。

1.6.11角度分辨率0.05度。

1.6.12探测器前端设计：锥形前端，避免遮挡其他探测器。

1.6.13专门定制的光学系统，具有高效率、高清晰度的特点，每个探测器的图像畸变出厂测试保证<1像素

1.6.14 接近探测器，在可能的碰撞发生前就探测到。

1.6.15 探测器插入最快速度：15mm/s，精度：<10μm

2.钨灯丝多功能扫描电子显微镜

2.1 电子光学部分

*2.1.1二次电子分辨率：3nm (30kV),8nm(3kV),15nm (1kV) 

2.1.2背散射电子分辨率：4nm(30KV)

*2.1.3放大倍率：光镜模式：1-20X;电镜模式：5X-300,000X[以128mm×96mm作为显示尺寸计算]或14X-839,000X[以358mm×269mm作为显示尺寸计算]，也可以在软件界面自定义输出显示尺寸，自由切换放大倍率数值。具有光镜电镜无缝转换(Zero Mag) 功能

*2.1.4电子枪:工厂预对中设计，灯丝更换只需2个组件，无需对中圈调节，采用无缝自给偏压技术

2.1.5电子枪自动功能：具有自动加热、自动对中、自动饱和度调整功能

2.1.6聚光镜 采用自动可变焦聚光镜 

2.1.7光阑:三级可调物镜光阑，可针对不用应用精细调节

2.1.8图像电位移:±50µm(WD:10mm)

2.2真空系统

*2.2.1 全自动电磁阀门，无须空气压缩机

2.2.2采用二级真空系统：机械泵、分子泵（抽速250L/s）

2.3样品室和探测器及成像系统

2.3.1 样品室内零磁场，可观察块体磁性样品

*2.3.2样品仓容积：≥935cm3，可容纳直径300mm,高度90mm样品

2.3.2样品交换方式：大开门式，无需使用氮气泄真空

2.3.3快速编码驱动样品台：样品移动速度不低于3mm/s

2.3.4 最大样品重量：2kg

*2.3.5 样品台行程：X轴125mm,Y轴:100mm,Z轴：80mm;T轴:-10~+90°R轴:360°

2.3.6 具有11个附件拓展接口，其中能谱仪接口不少于2个

2.3.7 样品台优中心设计，样品倾斜、平移，焦点不变，衬度不变。EBSD分析时无需倾斜寻找样品；

2.3.8具有二次电子探测器×1

2.3.9具有多分割背散射电子探测器:可形成高低真空的成分像、形貌像和阴影像×1

*2.3.10具有一体化可变焦光学CMOS导航相机，像素：不低于500万像素，图像分辨率：2560 × 1920，可在光学大视野范围下寻找样品并进行视野切换。

2.3.11具有样品室观察相机：可观察样品仓内部情况

2.4 图像处理系统

2.4.1 图像显示:1280×1024

2.4.2 图像存储:5120×3840，使用蒙太奇拼接功能时，可拓展至无限。

2.4.3 可输出BMP, JPEG, TIFF格式以及自动记录数字电影 (.avi)

*2.4.4 操作: 23英寸触控，还具有键盘鼠标、快捷功能操作面板、轨迹球等操作方式

*2.4.6具有自动图像拼接功能，在一体化光镜下可完成电镜模式的超大视野的自动拼接

2.4.7 具有自动对中功能，可以一键同时自动进行聚焦，消像散，电子束对中、明暗对比度调整四步操作

2.4.8应具备标注功能（图形类(圈、矩形、箭头、测量线)、文字等）

2.4.9应具有测量功能，能测量试件的长宽高、直径、周长、面积等，可实时测量。

*2.4.10 应具有报告输出软件，光镜低倍像，电镜高倍像可同时输出。

2.4.11 应提供内嵌式的实时导航功能，可用图像告知操作员用户下一步的操作步骤，以及根据不同样品类型，自动推荐操作条件。

2.4.12具有Charge Free跨行积分扫描模式，可将样品受到电子束的损伤和电荷积累降到最低

2.5微区成分分析与取向分析系统

技术指标及配置

2.6.1 探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，30mm2有效面积，50mm2晶体面积，高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能。

2.6.2 能量分辨率：Mn Ka保证优于129eV（@计数率100,000cps）；以上探测器能量分辨率保证符合ISO 15632:2012标准。

2.6.3元素分析范围: B5～Cf98

具备零峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位。

能谱应用软件采用最新的AZtecLiveOne平台，多线程设计。

2.6.4具备元素谱图Live功能，移动样品时，元素谱图实时刷新显示，无需在电镜和能谱软件间切换；在谱图采集时实时显示MinQuant的定量分析结果。内置Tru-Q引擎，确保定量分析的准确性；FLS（高帽滤波法）自动扣除背底，确定谱峰的位置及峰型；Qcal基于探头类型修正谱峰峰型，PPC准确预测高计数率下的和峰并进行修正。

2.6.5定性分析：AutoID可自动标识谱峰，可进行谱重构。

2.6.6定量分析：采用XPP定量修正技术，具有完备的虚拟标样库。

2.6.7电子图像最高分辨率达2048*2048像素；元素面分布图分辨率最高达1024*1024像素；可从面分布图上进行谱图重建。

2.6.8线扫描分析每条线可包含高达8192点，可从线扫描结果重建单点谱图。

2.6.9采用X1脉冲与图像处理器：可高效进行脉冲处理和图像采集，在1,000,000计数率下进行元素面分布分析，在100,000计数率下进行定量分析。

2.6.10 CMOS图像传感器技术，结合高效率、高分辨率光学系统。

2.6.11百万像素分辨率1244*1024，在此分辨率条件下，采集速度≥80点每秒；最快在线采集速度400点/秒，最高速度时花样分辨率达到312x256像素。

2.6.12角度分辨率0.05度。

2.6.13探测器前端设计：锥形前端，避免遮挡其他探测器。

2.6.14专门定制的光学系统，具有高效率、高清晰度的特点，每个探测器的图像畸变出厂测试保证<1像素

2.6.15 接近探测器，在可能的碰撞发生前就探测到。

2.6.16 探测器插入最快速度：15mm/s，精度：<10μm

3备件:

提供标准附件及工具和消耗品1套（导电胶带4卷、样品托若干、机械泵油4L等）。

4.保修服务及交货期

4.1 技术服务：要求供货厂家配备专业维修工程师和应用工程师，能提供及时有效的售后服务。

4.2 预安装：合同正式签字生效后，卖方负责对买方的电镜实验室进行预安装 (主要包括磁场、振动测试等)，同时提供电镜的安装要求和用户需要准备的安装条件和物资。卖方工程师费用由卖方承担。

4.3 安装与调试：仪器到达用户所在地后，根据买方的通知，卖方在2周内安排仪器的安装调试，直至达到验收指标。

4.4 技术培训：在用户现场对用户进行2人为期3-5天的培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、调试，数据处理、基本仪器维护，故障排除等。

4.5 保修期：卖方对电镜主机系统提供一年保修服务（电子枪保修3年），保修期从仪器验收合格、双方签署验收报告之日算起。保修期内，仪器的零配件费用、人工费用、差旅费用 (耗材除外) 均由卖方承担。因使用环境及人为因素造成设备损坏不在保修范围之内。

4.6 维修响应时间：卖方承诺在24小时内对用户的服务要求做出响应。需要在现场解决问题的，在5个工作日内到达仪器现场。重大问题或其他无法迅速解决的问题应在两周内提出明确解决方案。

4.7 售后服务：设备供应商承诺对设备提供终身维修服务。

4.8 交货期：自订单签订后6个月内发货。

其他事项