1、半导体集成电路要求的空气洁净度等级
集成电路生产环境要求的空气洁净度等级主要取决于集成电路的集成度,不同工序的空气洁净度等级是依据可能污染的概率和对器件的潜在故障确定的。
2、一些电子产品生产环境的空气洁净度等级
随着信息产业技术的发展,许多电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化,日益要求生产环境具有一定的空气洁净度等级和控制无尘车间内工艺生产所需的各类高纯物质的供给质量,目前国内外还没有统一电子产品的空气洁净度等级或生产环境控制要求的统一规定,各种电子产品的生产厂家依据其生产的产品品种、所采用的生产工艺技术、生产工艺设备、生产用原辅料以及无尘车间运行的实践经验确定设计建造无尘车间的空气洁净度等级。
3、精密机械、精细化工等产品生产环境的空气洁净度等级
例一、一个陀螺仪生产用无尘车间
无尘车间空气洁净度等级要求
装配间 ISO 6级
轴承加工间 ISO 5级
例二、一个感光胶片生产用无尘车间
流延机头部,涂布机头部 ISO 5级
涂布室,流延机室 ISO 6级